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GM-6工業(yè)測量顯微鏡
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產(chǎn)品特點:
GM-6工業(yè)測量顯微鏡
測量顯微鏡廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,電子工業(yè)進行晶體,集成電路的檢驗和精確測量。配備有冷光源光纖反射照明,成像和觀察系統(tǒng),偏光裝置。
  GM-6工業(yè)測量顯微鏡的詳細資料:

GM-6工業(yè)測量顯微鏡
GM-6工業(yè)測量顯微鏡
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GM-6工業(yè)測量顯微鏡

測量顯微鏡廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,電子工業(yè)進行晶體,集成電路的檢驗和精確測量配備有冷光源光纖反射照明,和觀察系統(tǒng),偏光裝置。

● 無限遠光學(xué)系統(tǒng),管鏡焦距200mm

● 鉸鏈式三目鏡筒,30°傾斜,瞳距55-75mm

● 高眼點、視場目鏡WF10X/22

● 五孔物鏡轉(zhuǎn)換器

● 長工作距離平場復(fù)消色差物鏡

Plan Apo 2X/0.055  W.D. 34.6mm 分辨率5μm,

Plan Apo 5X/0.14   W.D. 45mm 分辨率2μm,

Plan Apo 10X/0.28   W.D. 34mm 分辨率1μm,

Plan Apo 20X/0.29  W.D. 30.8mm 分辨率1μm

Plan Apo 50X/0.42  W.D. 20.5mm 分辨率0.7μm

● 調(diào)焦系統(tǒng)同軸粗微調(diào)焦機構(gòu),微動格值0.002mm

● 載物臺  6″x8″雙層活動平臺,移動行程153x204mm

● 三維測量系統(tǒng)  

分辨率 1μm

測量精度:  ±(2+L/200)μm

重復(fù)定位精度:  2μm

照明系統(tǒng)  

● 冷光源光纖反射照明器12V150W,特別明亮清晰

● 選配:

完善和全面的測量軟件

--------完整的幾何量測:,,,,角度等

--------坐標系的設(shè)定,擺正,旋轉(zhuǎn)

--------顯示方式多樣化;語言的轉(zhuǎn)換,公英制單位的轉(zhuǎn)換,角度的轉(zhuǎn)換


 

 

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